ULVAC機(jī)工的GLD系列，具有低振動，低噪音及以下優(yōu)良性能：
1.氣鎮(zhèn)閥能防止蒸汽（例如水蒸汽）凝縮在泵油內(nèi)。
2.強(qiáng)制給油機(jī)構(gòu)能保證從大氣到高真空的整個排氣過程中，保持油潤滑和內(nèi)部密封。
3.逆流防止裝置在斷電時能保護(hù)真空箱。低溫確保了真空泵創(chuàng)造良好的真空度。強(qiáng)制的油過濾器可濾出泵油的雜質(zhì)，通過大型刻度易讀的油量計，可以隨時檢查泵油的狀況。
使用指導(dǎo)
為了zui大限度的發(fā)揮真空泵的*性能，應(yīng)注意以下幾點：
1.GLD系列可適用于廣泛領(lǐng)域，能獲得極低的真空（10-2Pa），配置KF法蘭可獲得高真空。為發(fā)揮zui大性能請使用高真空法蘭。
2.GLD系列并不適用于有毒或腐蝕性氣體。（請選擇GCD系列:p.10）
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
日本ULVAC GLD-051直聯(lián)型油旋片式真空泵應(yīng)用
1.科學(xué)與化學(xué)試驗，分析裝置，鐳射相關(guān)裝置。
2.電子顯微鏡的前級泵系統(tǒng)。
3.半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)，濺射系統(tǒng)，真空涂層系統(tǒng)。
4.真空干燥系統(tǒng)，冷凍干燥系統(tǒng)。

 技術(shù)參數(shù)：