日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器的產(chǎn)品詳情：

日本HORIBA STEC E40MK3/E50MK3流量控制器是在未改變質(zhì)量的品質(zhì)特性條件下實現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點關(guān)注于重復(fù)性以及限定氣體的種類、流量進(jìn)行大量生產(chǎn)、實現(xiàn)了大幅度的成本降低。適合于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復(fù)控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

日本HORIBA/SEC-E40質(zhì)量流量控制器的規(guī)格參數(shù)：

更多產(chǎn)品：

SEC-Z500X多量程/多氣體數(shù)字流量控制器

高精度 ±1.0% 設(shè)定點

該流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現(xiàn)在流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標(biāo)定數(shù)據(jù)由 HORIBA STEC 公司的標(biāo)準(zhǔn)氣體測量系統(tǒng)測量。

高速響應(yīng)

裝配“可變PID系統(tǒng)"，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn)1秒響應(yīng)。可變PID根據(jù)流量點設(shè)置不斷變化。在滿量程流量和氣體發(fā)生變化時優(yōu)化PID系數(shù)。

多氣體/多量程解決方案

配置軟件可以快速方便更改規(guī)格。一個重要特征是無需從氣體控制面板或管道上拆除流量控制器，即可進(jìn)行更改。減少所需備用流量控制器的數(shù)量，節(jié)省時間和成本。

SEC-Z500X 流量控制器適用于各種應(yīng)用以及半導(dǎo)體制造。

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-E40/E40MK3、SEC-E50/E50MK3、SEC-E400X、SEC-E500

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-405/410、SEC-510、SEC-400MK2/MK3、SEC-500MK2/MK3

HORIBA堀場_流量計&配件_MF-CP10N、MF-CP10N（50-100LM）、MF-CS10N、MF-CS10N（50LM）

HORIBA堀場_流量計&配件_S48-32、S48-28、SEC-N102MGM（MGR）、SEC-N104MGM（MGR）

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-N105MGM（MGR）、SEC-N106MGM（MGR）、SEC-N107MGM（MGR）、SEC-N170R

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-Z502X、SEC-Z502MGX、SEC-Z504MGX、SEC-Z507MGX

HORIBA堀場_流量計&配件_SEC-8400F AMB,MM,MH、HL.HM、SEC-8400D AMB,MM,MH、HL.HM

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HORIBA堀場_流量計&配件_D504、D507、red-y industrial GIC

HORIBA堀場_流量計&配件_PE-D10、PE-D20、PE-S7、ＣＵ-2130

HORIBA堀場_流量計&配件_ＣＵ-2140、MU-2200 、MU-2200 、MU-3000

HORIBA堀場_流量計&配件_MF-FP10N、MF-FS10N、MF-FA10N、（500L/min/1000L/min）

HORIBA堀場_流量計&配件_red-y compact Series、GCM、GCR、PV-1000（MO/MC）

HORIBA堀場_流量計&配件_PV-2000（MO/MC）、PCU-2100、EC-5104、EC-5105

HORIBA堀場_流量計&配件_EC-5202、UR-Z7□2M（-B）、UR-Z7□4M（-B）、GR-312F

HORIBA堀場_流量計&配件_GR-314F、GR-317F（-EPV）、 LD05/LD10/LD20、 LW5/LW10/LW20

HORIBA堀場_流量計&配件_ LM05/LM10、 LM05W/LM10W、XF-122 XF-127、XF-132 XF-137

HORIBA堀場_流量計&配件_XF-124、XF-134、LF-F□0M-A、LV-F□0PO LV-F□04PO

HORIBA堀場_流量計&配件_LV-F□0MO LV-F□04MO、LSC Series、VC-1420＋SEF、MV-2000+XF

HORIBA堀場_流量計&配件_VG Series、MICROPOLE System、QL Series、QL Series

HORIBA堀場_流量計&配件_IR-302M、IR-304M、IR-305M、IR-400 Series

HORIBA堀場_流量計&配件_RU-1000、TE-1100、OPGU-2100、OPGU-2200

HORIBA堀場_流量計&配件_OPGU-7100、OPGU-7200、SGD-SC 0.5L/5L、SGD-710C

HORIBA堀場_流量計&配件_SGPU Series、SF-1U/2U、VP-1U/2U/3U/4U、PS-SF-100C

HORIBA堀場_流量計&配件_EV-140C、IT-470F-H

• LF-F20M-A液體質(zhì)量流量計